真空泵是真空干燥箱的必須品之一，客戶選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng):

1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHa的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHa。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。

3，真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量

4、正確地組合真空泵。由干真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極測射離子泵)對氙有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝苦得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下下作，需要

預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如;水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污

染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

6.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵、如果氣體中含有蒸氣，顆粒，及腐蝕

性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。